RK3H000701，性能要求派克导式溢流阀

RK3H000701，性能要求派克导式溢流阀

17系列阀提供了一个流动性，积极关闭了纯度流体关闭系统。
这1 / 2"和3 / 8"弹簧式隔膜阀提供手动和气动从
真空到3000 PSIG中的压力范围应用提供的泄漏完整性。
以满足半导体制造商的OEM工具，并指出了具体要求，对使用的天然气运输系统。
功能齐全的真空条件下。
阀的工作有快90 °旋转操作，有一个完整的1 / 8"孔。
其中一幅精密成型加工干和纯度的PFA机构保持系统的纯洁性

MV - 14手动PFA 停止旋塞阀是专为纯度的半导体应用。

该设计采用了纯度的PFA 模机构，以及加

工聚四氟乙烯干。压装干了它与身体的操作过程中泄漏密封。

955 Y是一个Veriflo经过验证的超纯度，低量元件内

部复杂的设计。节省空间和减少焊接，使过程控制和955Y的系统。

化学材料制成的抗腐蚀性的环境中适合所有组件
许多配置，包括Parflare，可以直接安装，减少额外的连接和降低成本
的大Cv值低蒸气如WF6和氯化气体压力气体，如CI2和BCI3。
Parker Hannifin公司的Veriflo部介绍955Y。该955Y是
一个自定义设计的纯度，流量隔膜阀多方面的，设计，

RK3H000701，性能要求派克导式溢流阀